MV-IS光电图像传感器量子效率测试系统

型号 : MV-IS

MV-IS是光焱科技针对CCDCMOS影像感测器和摄像头开发的评价系统。利用专利的均匀光技术比传统积分器提供更强的光强,独家的单色仪分光技术,可以测试波长解析度达到0.1nm,大大提高了测试的准确性。测量的波长范围可扩展到300 nm~1100 nm,是一款高性能的感测器综合测试系统。


项目 规格
MVIS-PTC
图像传感器测试系统主机
a. RGB三色光源
b. 光斑均匀性99 %
c. 四个数量级的光强变化
单色光可调光源模块 a. 单色光发光波长
  • 红光:635 nm±10 nm @ FWHM: 15±10 nm
  • 绿光:525 nm±10 nm @ FWHM: 30 ±10 nm
  • 蓝光:465 nm±10 nm @ FWHM: 20 ±10 nm
b. 均光面积:10 × 10 mm, >99 %
c. 工作距离:距离发光口25 cm
d. 光源不稳定度 <±0.3 %
e. 单色光发光强度
  • 红光:30 μW/cm2 (约50 Lux)
  • 绿光:20 μW/cm2 (约100 Lux)
  • 蓝光:30μW/cm2 (约7.5 Lux)
f. 最小发光强度
  • 红光:0.3 μW/cm2 (约0.4 Lux)
  • 绿光:0.6 μW/cm2 (约2.0 Lux)
  • 蓝光:0.9 μW/cm2 (约0.4 Lux)
g. 光强调节范围
  • 手动粗调:10倍,100倍三级强度衰减,手动更换
  • 自动细调:计算机控制0-100%强度调整,0-255调整精度,重复精度优于1%(信噪比100以上)
h. 光源寿命:10000小时
近红外光光源 a. 发光波长:940 nm±10 nm @ FWHM: 45±5 nm
b. 均光面积:10×10 mm, >99 %
c. 工作距离:距离发光口25cm
d. 光源不稳定度<±0.3%
e. 发光强度:> 30 μW/cm2
f. 可兼容单色光可调光源模块, 手动改换光源
光能量校正模块 a. 探头校正波长范围:400-1000 nm,溯源美国NIST,ISO17025标定证书
b. 标定波长间隔10 nm
c. 面积10 ×10 mm2
d. BNC界面
控制系统 最新配置工控机,LCD,4GB RAM,DVD,Windows7系统
测量暗室 a. 暗室尺寸:85×80×90 cm(长宽高)
b. 低暗室环境噪音
c. 具涂层隔离环境杂散光
图像采集 图像采集卡接口:USB,GigE
相机样品台 a. 三轴精度微调台,样品载具
b. 样品载具移动滑台
  • 移动行程:±55 mm
c. 三轴精密微调台
  • 移动行程:±6.5 mm
d. 旋转定位台
  • 旋转角度:0°~360°
  • 四点定位点:0°,90°,180°,270°
激光辅助对准系统 a. 三色波长光源切换功能
b. 变光强调整功能
MVIS-SWE
PTC测量分析软件
a. 测量参数:
  • 光电响应动态范围DR
  • 光电回应不均匀度
  • 光电响应线性度
  • 暗输出不均匀性NUD
  • 系统增益G
  • 暗电流、暗噪声
  • 饱和度
  • 单波长量子效率/光谱响应测试
  • 连续波长量子效率/光谱响应测试(搭配相关硬件)
b. 脱机图像分析功能
c. 自动测量功能(相机需要可以被系统控制)
MVIS-QE全波长量子效率测量模块 a. 连续谱QE测量功能
b. 全波长可调光源分光模块
c. 75W氙灯白光光源
d. 椭圆聚光光学系统
e. 波长范围:300-1100 nm
f. FWHM: 10 nm,5 nm,3 nm可调
g. 最小切换波长:1 nm
h. 波长重复性可达0.2 nm,准确度可达±0.2 nm
i. 光源不稳定性<1 %
j. 自动杂光滤镜组,滤除单色光杂光
k. 准直均匀光光学系统
l. 均光面积:
  • 40 × 40 mm(光斑照射面积)
  • 10 × 10 mm (均匀性>99 %)
m. 具备常规RS232通讯
n. 可测量参数:
  • 全波长量子效率测量
  • 全波长光谱回应测量
MVIS-HDR
全波长光强度调控模块
a. 全波长高动态范围光强度变化功能
b. 自动线性光强调节器
c. 连续细调光强变化:
  • 光强控制范围0-100 %
  • 扫描精度1 %
  • 重复精度优于3 %
  • 计算机自动控制或手动开关

特色点

● 独家的均匀光系统,超高单色光光强

● 实现全阵列图元测量

● 发散角度小于5度的准直单色光

● 丰富的相机介面

● 灵活的硬体扩展和升级能力

● 雷射定位

整合方案

系统可满足使用Photon Transfer Method量测图像感测器之各项参数所需的光学平台:

● 量子效率/光谱响应

● 灵敏度

● 动态范围 

● 暗电流/杂讯 

● 线性误差LE

● 暗电流响应不均匀性

● 光电流响应不均匀性

● 主光线角度测量(Chief Ray Angle,CRA



应用 

●  CCD相机

●  CMOS相机

●  紫外光感测器

●  红外光感测器

●  摄像头 

● 其他类型光电器件


(a)专利均光系统发散角示意图

(b)传统积分球系统光发散角示意图 (c)光斑投射在样品之实际样貌 (d)系统可产生连续不同光波长之单色光源

1-1 MVIS系统可产生高均匀度与高光强度的单色光光斑,具备绝佳的讯噪比,可精确测出感光组件的量子效率等相关光学特

1-2 市售工业级相机实测于 470 nm波长各项参数之量测结果

3 市售工业级相机实测于300 nm1100 nm 波长范围量子效率之量测结果

4 光焱科技专利均光系统与传统均光系统之照度比较

5 光焱科技专利均光系统与传统均光系统之光通量比较



430 nm

均匀度99.04%



530 nm

均匀度99.06%



630 nm

均匀度99.05%

6 光焱专利均光系统于不同单色光下,均可达到高于99%均匀度
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