激光扫描缺陷测绘系统

型号 : LSD4

激光扫描缺陷影像仪,是激光束诱导电流测试(LBIC)的升级版,利用波长能量大于器件能隙大的激光束,照射在器件表面后产生的电子-空穴对,通过快速的扫描样品表面,获得影像分布,可以得到内部电流的变化来了解分析各种的缺陷分布,帮助分析样品制备质量以及帮助工艺改进。

型号 项目 规格
1-1 激发波长 a. 405 ± 5 nm(最高可扩充至 4 个雷射)
b. 多波长切换设计
c. 手动快速光强调变
1-2 激光光点 a. TEM00 光斑
b. 单一波长光斑 < 100 um
c. 全系列波长 < 150 um
1-3 扫描范围 a. 扫描面积:10 cm x 10 cm
b. 可客制超过 16 cm x 16 cm之扫描范围
1-4 扫描分辨率 a. 扫描分辨率
- 10 um, ≦ 20 mm x 20 mm
- 50 um, ≦ 100 mm x 100 mm
b. 扫描频率
- 10 Hz, 25 Hz及 50 Hz
- 10 Hz, ≦ 4,000,000 像素
c. 可由软件设定扫描分辨率
1-5 讯号量测模块 a. 16 bit A/D 解析能力
b. S/N 可达>1000 以上
c. 超低噪声放大器模块
1-6 量测时间 a. <1 mins (For 20 mm x 20 mm with 50 um resolution)
b. <13 mins (For 160 mm x 160 mm with 50 um resolution)
1-7 尺寸 60 cm x 60 cm x 100 cm
1-8 测量分析软件 a. 激发波长切换
b. 雷射功率调整
c. LBIC 3D 图示
d. 2D 剖面分析(电极深宽度比)
e. 光电流回应分布分析(搭配长波长激光器)
f. 数据保存与输出功能
1-9 计算机系统 a. x86 兼容计算器包含屏幕键盘与鼠标
b. 微软操作系统
1-10 选购项目1:
连续光雷射
a. 可添加 375 nm/ 450 nm/ 520 nm/ 638 nm/ 650 nm/ 780 nm ± 5 nm
b. b. 最小功率:50 mW
c. TEM00 输出
d. 功率输出稳定度:<2 %

● 非接触式光电流分布成像

● 非接触式 EQE 分布成像

● 成像分辨率可达 FHD 影像分辨率 (100mm x 100mm)

● 扫描速度 < 5 min @ FHD 分辨率


一、晶硅太阳能电池应用

▲图一、 2 cm x 2 cm晶硅电池扫描图谱

▲图二、6-inch 单晶太阳能电池 光电流响应分布图

▲图三、6-inch 多晶太阳能电池 光电流响应分布图


二、OPV有机太阳能电池与PVSK钙钛矿太阳能电池应用
▲图四、OPV有机太阳能电池 光响应电流分布图


三、组件均匀度分析
▲图五、Non-uniformity analysis不均匀度分析 (分辨率为50 um)

▲图六、 Busbar/Grid深宽比检测(剖面分析)
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